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真空等离子清洗机PFNPDS-1100-PFNPDSF-1100

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真空等离子清洗机PFNPDS-1100-PFNPDSF-1100
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产品描述
参数

设备优点

 

1、Molding:

主要功能: Chip和Epoxy之间提高粘着力

为了保护Chip,用 Epoxy來蜜蜂的工程.粘貼Epoxy前使用Plasma的話,可以提高Chip和 Epoxy之間的黏著力

 

2、Die Attach:

主要功能:Chip和Leadframe之间提高粘着力

把切断的每個Chip放在Leadframe上時Chip和Leadframe之间可以提高黏著力

 

3、Solder Ball Attach & Mount:

主要功能:PCB和 Solder Ball之间提高粘着力

PCB和Device package之间用Solder Ball来连结的工程。粘贴Solder Ball之前使用Plasma的话,可以提高PCB和Solder Ball之间的粘着力

 

4、表面改質

主要功能: 按客戶的要求,被處理物表面可以改質疊層前/粘貼ACF前/鍍金及鍍銀前

 

5、Plasma Descum

主要功能: Lithography工程後,清除剩下的渣滓 

 

6、Plasma Desmear

主要功能:Drill工程中所發生的Smear的清除

 

7、清除氧化膜

主要功能:在Cu Pad上形成的氧化物,用Plasma來清除

 

参数内容

参数值

设备尺寸(长×宽×高)

1500x1800x1858mm(设计时部分可修改)

设备净重

约 2000 (KG)

腔体尺寸(长x宽x高)

1000mm(W)x1500mm(D)x1000mm(H)(设计时部分可修改) 

插槽数

15槽

可做板件尺寸

44"x22"

射频电源规格

10 KW (40 Khz)

真空泵

干式真空泵  泵用量About 20000 L/min

控制系统

基于PLC的触控板 (触控板尺寸- 10.4") 系统自动控制与手动控制

电源规格

220V, 3phase, 50Hz(60Hz), 75A 

所需的空气压

5 ~ 6 kg/cm2 (Mount -1/4” Swagelok Type)

 所需的工艺气压

(Ar, O2, N2, CF4)

2 ~ 3 kg/cm2 (Mount - 1/4” Swagelok Type)

      (长度在3M以内时 – 可用Teflon Tube设置)

干泵净化空气压力

3 ~ 5 kg/cm2 (Mount - 1/4” Swagelok Type)

真空排气用管道尺寸 

Nw40 (Hard Line 货 Flexible Line)

 

 

 

 

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地址:广东省鹤山市工业城B区民丰东路13号动力飞扬工业园

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